HRZ002-L1 SMC ：乙二醇型循环液温控装置，半导体工艺设备的温控专家

在半导体制造和高端工业应用中，精确的温度控制对于保证工艺质量和生产效率至关重要。SMC的HRZ系列循环液温控装置，特别是型号HRZ002-L1，以其卓越的性能和可靠性，成为这些领域中不可或缺的温控解决方案。

产品特点

• 高温度稳定性：HRZ002-L1提供了高温度稳定性，确保在长时间运行中提供稳定的温度控制，温度稳定性达到±0.1℃。
• 宽温度调节范围：设定温度范围从-20℃至40℃，覆盖了广泛的工业应用需求。
• 故障诊断与外部通信：具备故障诊断功能和外部通信性能，便于远程监控和维护。
• 符合安全标准：适用于各种安全标准，包括UL、SEMI和CE规格，确保了设备的安全性和合规性。
• 节能高效：在HRZ系列高性能的基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能化。

技术规格

• 冷却能力：2kW，适用于需要较大冷却功率的工艺过程。
• 循环液种类：乙二醇水溶液，适用于多种工业应用，特别是对循环液有特殊要求的场合。
• 电源：单相AC200～230V(50/60Hz)，适应不同国家和地区的电源需求。

应用场景

HRZ002-L1循环液温调装置广泛应用于以下领域：

• 半导体制造：在半导体工艺设备中，精确控制温度以保证生产过程的稳定性和产品质量。
• 科学研究：在需要精确温度控制的实验室和研究环境中，提供可靠的温度调节。
• 工业自动化：在自动化生产线中，确保设备运行在最佳温度条件下。

结论

SMC的HRZ002-L1循环液温控装置以其高温度稳定性、宽温度调节范围、节能高效和符合国际安全标准的特点，成为工业温度控制的理想选择。选择HRZ002-L1，就是选择了一个高效、可靠和易于管理的工业温度控制解决方案。